水环真空泵_洪梅真空泵_鸿林真空设备

为达到较l佳配置，选择真空系统时，应考虑下述各点：

检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应，水环真空泵，泵系统将被污染。同时**考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。

真空泵的选用

1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，微型真空泵，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要**真空设备真空度半个到一个数量级。

2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，洪梅真空泵，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。